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1、积垢后的罗茨真空泵，它的抽气速率将会降低。由于叶轮叶片之间及进、排气窗口上都结有水垢，所以说，密封小室的容积显然缩小了，进、排出气体的体积自然也就减少了。当积垢几乎填满叶片之间的空间，或者是进排气窗口几乎被水垢堵满时，进排气量也就几乎为零了，这个时候，设备也就失去了抽取真空的作用。
2、结垢后的罗茨真空泵不光抽气速率降低，而且还会导致功耗升高。由于水垢的形成，导致排气窗口缩小了，小室内的气体，在排出窗口时，压缩比增加大，从而引起功耗升高，达不到环保要求，功耗提高大约是10%。
综上所述，污垢对于罗茨真空泵的危害是很大的，会导致损坏。
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